新産業・革新技術創出に向けた先導研究プログラムにおいて、
「半導体プロセスメタファクトリーの基盤技術開発」の研究提案が採択されました。
マテリアル実用化期間を劇的に短縮するプロセス間・計測間の高度連携技術の開発を行います。
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