新産業・革新技術創出に向けた先導研究プログラムにおいて、「半導体プロセスメタファクトリーの基盤技術開発」の研究提案が採択されました。マテリアル実用化期間を劇的に短縮するプロセス間・計測間の高度連携技術の開発を行います。▷ […]
SiCは、これまでSi(シリコン、ケイ素)が使われていた、コンバータやインバータといった電力変換器の、電力制御に利用する「パワー半導体※」の新たな材料として、開発が期待されています。
SiをSiCに置き換えることで、現行の材料であるSiの特性を、10倍ほどに大きく越える「省エネの切り札」となり、電力変換器の大幅な効率向上や小型化が見込めるため、電力会社や自動車メーカー、電機メーカーなども大きな期待を寄せています。
一部ではSiCの使用が始まっていますが、性能の面ではまだまだ大きな伸びしろがあります。我々は、このSiCをパワー半導体の材料として(Siからの)置き換えを可能にする、高品質で大きな結晶を開発することをテーマとしています。